反应离子刻蚀机要留意哪些方面?1、温度（Temperature）的提升能够加快刻蚀速率。温度对反应动力学有直接影响，高温度有助于加速化学反应，从而提高刻蚀效率。然而，过高的温度也可能导致材料的热损伤，影响最终的器件性能。Micro-loading现象是等离子刻蚀过程中不可忽视的因素。2、全球半导体